Ein positives Fazit gab es für das EU-finanzierte Projekt „Semiconductor Equipment Assessment Leveraging Innovation“ (SEAL) nach dem ersten Jahr. Bei dem 12-Monats-Report, durchgeführt von der EU und dem Review-Team, schnitten Fries Research & Technology (FRT), die Siltronic AG und das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) sehr gut ab.
Die Konstellation dieser Partner zeigt die Intention des Projekts: die gemeinsame Förderung der Marktreife innovativer und produktionsfähiger Anlagen sowie deren Entwicklung in Zusammenarbeit mit Anwendern und Herstellern. Mit den 38 Projektpartnern aus ganz Europa ist es möglich, die „kritische Masse“ für erfolgreiche Forschung und Entwicklung zusammen zu bringen. Dabei sollen vor allem kleine und mittelständische Unternehmen unterstützt werden, die von dem umfangreichen Netzwerk aus führenden europäischen Halbleiterherstellern, Materialproduzenten und verschiedenen Forschungseinrichtungen profitieren können.
SEAL will die starke europäische Infrastruktur im Bereich der 300-Millimeter-Wafer nutzen. Das Projekt hat eine Laufzeit von drei Jahren und verfügt über ein Gesamtbudget von mehr als 14 Millionen Euro. FRT bringt sein Know-how in der optischen Multisensor-Oberflächenvermessung und Wafer-Metrologie ein. „Das erste Jahr hat gezeigt: Wir können gemeinsam Impulse setzen“, zeigt sich Dr. Thomas Fries von FRT überzeugt.
Querschnittstechnologie mit großem Potenzial
Halbleiteranlagen werden für die Produktion verschiedenster Elemente benötigt, wie zum Beispiel Mikroprozessoren, Speicher, MEMS oder Sensoren. Diese sind für die meisten elektrischen und elektronischen Geräte und Maschinen mittlerweile unverzichtbar. Die nötigen Investitionen für einen führenden Halbleiter produzierenden Betrieb sind technisch anspruchsvoll und eine große finanzielle Hürde. Schnell können sich dabei die Gesamtkosten auf ca. 3 Milliarden Euro summieren.
Weitere Informationen unter www.seal-project.eu
Fries Research & Technology GmbH – the art of metrology
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometerauflösung für Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik im Einsatz.
Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei Köln und unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Dr. Thomas Fries
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